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掃描電鏡高溫原位系統(tǒng)通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制,在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建熱場自動控制及反饋測量系統(tǒng),結(jié)合EDS、EBSD等多種不同模式,實現(xiàn)從納米甚至原子層面實時、動態(tài)監(jiān)測樣品在真空環(huán)境下隨溫度變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)、相變、元素價態(tài)、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
透射電鏡高溫力學(xué)原位系統(tǒng)通過MEMS芯片在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建力、熱復(fù)合多場自動控制及反饋測量系統(tǒng),結(jié)合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式,實現(xiàn)從納米層面實時、動態(tài)監(jiān)測樣品在真空環(huán)境下隨溫度、施加力變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)、相變、元素價態(tài)、微觀應(yīng)力以及表/界面處的結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
掃描電鏡高溫力學(xué)原位系統(tǒng)通過MEMS芯片在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建力、熱復(fù)合多場自動控制及反 饋測量系統(tǒng),結(jié)合EDS、EBSD等多種不同模式,實現(xiàn)從納米層面實 時、動態(tài)監(jiān)測樣品在真空環(huán)境下隨溫度、施加力變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu) 演化、相變、元素價態(tài)、微觀應(yīng)力以及表/界面處的結(jié)構(gòu)和成分演化等 關(guān)鍵信息。
透射電鏡氣體高溫原位系統(tǒng)通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制,結(jié)合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多種不同模式,實現(xiàn)從納米甚至原子層面實時、動態(tài)監(jiān)測樣品在氣體環(huán)境下隨溫度變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)演化、反應(yīng)動力學(xué)、相變、元素價態(tài)、化學(xué)變化、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
掃描電鏡電制冷版冷凍系統(tǒng)是在標準樣品臺的基礎(chǔ)上設(shè)計冷凍模塊、PID溫控模塊及冷卻循環(huán)模塊,無需改造電鏡,在掃描電鏡內(nèi)實現(xiàn)對樣品冷凍,大大減緩了樣品水分的蒸發(fā),使長時間在電鏡中觀察含水樣品的結(jié)構(gòu)成為可能。通過外接法蘭裝置實現(xiàn)對冷臺上的樣品進行數(shù)顯控溫,穩(wěn)定后溫度波動小于±0.1℃。