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掃描電鏡液體熱電原位系統(tǒng)采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建液氛納米實(shí)驗(yàn)室,通過MEMS芯片對薄層或納米電 池系統(tǒng)施加熱場和電信號等,結(jié)合使用EDS等多種不同模式,實(shí)現(xiàn)從納米層面實(shí)時(shí)、動態(tài)監(jiān)測電極、電解液及其界面在液氛 環(huán)境中隨溫度、電信號變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)演化、反應(yīng)動力學(xué)、相變、化學(xué)變化、表/界面處的結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。