掃描電鏡全稱掃描電子顯微鏡，簡稱SEM，是一種超高速、高分辨、全自動、快速成像、場發(fā)射電子顯微分析設(shè)備，是根據(jù)電子光學(xué)原理，用聚焦很細(xì)的電子束照射到要檢測的樣品表面，電子束與樣品相互作用產(chǎn)生各種信息，使物質(zhì)的細(xì)微結(jié)構(gòu)在非常高的放大倍數(shù)下成像的儀器。
SEM加熱樣品臺可用于電鏡樣品在不同的高溫條件下的結(jié)構(gòu)表征。具體功能如下：
1、采用四電極反饋控制系統(tǒng)對加熱區(qū)域的樣品進(jìn)行精準(zhǔn)均勻、安全控溫；
2、高精度、高頻反饋控溫模式，具有實(shí)時(shí)溫度控制及精確測量功能，內(nèi)置絕對溫標(biāo)，并可軟件自動標(biāo)定，對任一芯片的每次升溫過程進(jìn)行自動校正和模擬出*優(yōu)的升 溫曲線，而非統(tǒng)計(jì)學(xué)的擬合曲線加熱，能更好地反映熱場實(shí)情并可自定義程序升 溫曲線，設(shè)置升溫速度，確保每片芯片每次測量溫度的精確性，不受使用次數(shù)的 影響而降低，保證高溫實(shí)驗(yàn)的重復(fù)性及可靠性；
3、超薄氮化硅膜(10 nm，25 nm，50 nm)，不會影響電子信號采集；
4、觀測區(qū)域全覆蓋；
5、升溫快、溫度場穩(wěn)定且均勻，升溫過程樣品幾乎無漂移；
6、SEM加熱樣品臺的加熱芯片溫度范圍RT~1300℃，以及準(zhǔn)確的控溫技術(shù)可滿足大多數(shù)科學(xué)研究的需求。
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