原位芯片也叫原位合成芯片，原位芯片的主要材質(zhì)是硅，表層覆蓋納米級(jí)氮化硅薄膜。電子級(jí)的氮化硅薄膜實(shí)際上是一種硅氮化合物，常用作微電子技術(shù)電絕緣層，通過化學(xué)氣相沉積或者等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)制造的。而選擇氮化硅薄膜的理由是因?yàn)樗鳛榧呻娐沸酒鈱逾g化膜和保護(hù)膜有優(yōu)勢(shì)。氮化硅硬度大，耐磨耐劃，致密性好，針孔少，掩蔽能力強(qiáng)，抗氧化能力強(qiáng)。因此，包括鈉、水蒸氣等幾乎不會(huì)對(duì)其造成麻煩。所以帶有原位芯片的電子顯微鏡可以觀測(cè)能力將大幅度提高，能全程高清拍攝每個(gè)原子的變化和運(yùn)動(dòng)軌跡。
超新芯提供的高分辨自封閉原位芯片是由top chip，spacer，bottom chip鍵合組成，可實(shí)現(xiàn)液相或氣相反應(yīng)的原位TEM原子級(jí)高分辨成像。適用于原位液體及氣體樣品封裝，適用于所有TEM、STEM樣品桿。
微信掃一掃
